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質(zhì)量流量控制器使用前需了解的三要素

2022-06-24 11:43:30
本文關(guān)鍵字:質(zhì)量流量控制器

質(zhì)量流量控制器通常由電路板、傳感器、進出氣管道接頭、分流器管道、機殼、調(diào)節(jié)閥等部件組成。

質(zhì)量流量控制器特點:較快的響應(yīng)速度及穩(wěn)定時間;精度高,重復(fù)性好;溫度和壓力不敏感;采用液晶觸控顯示和便捷控制;良好的重復(fù)性和再現(xiàn)性;高的精度及零點穩(wěn)定性;電壓輸入,多種信號輸出方式。

質(zhì)量流量控制器配備有316L不銹鋼氣路座、高精度微機電流量芯片、電磁比例閥等,具有響應(yīng)速度快、精度高、穩(wěn)定性好等特點。輸出信號可選擇:4-20mA和1-5V模擬信號,以及RS485等數(shù)字通信方式。在輸出方面,帶有液晶觸控顯示屏,具備流量設(shè)置、瞬時流量和累積流量顯示等功能。

質(zhì)量流量控制器用于對于氣體或者液體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。擴散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設(shè)備,光纖熔煉,微反應(yīng)裝置,混氣配氣系統(tǒng),毛細(xì)管測量氣象色譜儀,光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。


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