2021-10-18 16:48:05
本文關(guān)鍵字：質(zhì)量流量控制器

　　質(zhì)量流量控制器含分流器通道和流量放大、流量傳感器、電磁閥和P ID控制電路、線性化及溫度補(bǔ)償電路組成。

　　質(zhì)量流量控制器傳感器采用微機(jī)械加工技術(shù)，質(zhì)量流量控制器實(shí)現(xiàn)微小流量測(cè)量；其特點(diǎn)是可靠性高、重復(fù)性好，壓損小，無(wú)可動(dòng)部件，量程比寬，響應(yīng)時(shí)間較快，測(cè)量精度高，無(wú)需要溫度壓力補(bǔ)償，應(yīng)用于輕工、化工及半導(dǎo)體等工業(yè)部門(mén)的空氣、氧氣、氬氣、氮?dú)獾葰怏w的檢測(cè)和控制。

　　質(zhì)量流量控制器用于對(duì)于氣體或者液體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。擴(kuò)散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設(shè)備，光纖熔煉，微反應(yīng)裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細(xì)管測(cè)量氣象色譜儀，光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。

　　質(zhì)量流量控制器使用注意：用肥皂水對(duì)管路進(jìn)行泄漏檢測(cè)時(shí)，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能?chē)娫趦x表或電氣插頭上；需要進(jìn)行零點(diǎn)漂移清零的時(shí)候，確認(rèn)進(jìn)/出口沒(méi)流量沒(méi)壓力下、設(shè)定值是0的狀態(tài)再操作；進(jìn)氣管道上建議安裝上的過(guò)濾器、油水分離器使用，確定氣體的干凈不能進(jìn)水/油、雜質(zhì)粉塵不超過(guò)20微米；安裝前，請(qǐng)將設(shè)備管路進(jìn)行整體吹掃。