2021-10-13 17:19:15
本文關(guān)鍵字：質(zhì)量流量控制器

　　質(zhì)量流量控制器用于對(duì)于液體或者氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)量和控制。廣泛用于真空鍍膜，毛細(xì)管測(cè)量氣象色譜儀，光纖熔煉，光導(dǎo)纖維制造，混氣配氣系統(tǒng)，微反應(yīng)裝置等設(shè)備中。以及冶金，石油化工，制藥等行業(yè)。

　　質(zhì)量流量控制器的測(cè)量原理：通過(guò)測(cè)量氣體流經(jīng)流量計(jì)內(nèi)加熱元件時(shí)的冷卻效應(yīng)來(lái)計(jì)量氣體流量的。氣體通過(guò)的測(cè)量段內(nèi)有兩個(gè)熱阻元件，其中一個(gè)作為溫度檢測(cè)，另一個(gè)作為加熱器。溫度傳感元件用于檢測(cè)氣體溫度，加熱器則通過(guò)改變電流來(lái)保持其溫度與被測(cè)氣體的溫度之間有一個(gè)恒定的溫度差。當(dāng)氣體流速增加，冷卻效應(yīng)越大，使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。質(zhì)量流量控制器具有擴(kuò)散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入中等功能，具有精度高，重復(fù)性好等特點(diǎn)，可以廣泛用于冶金，制藥，石油化工等。

　　質(zhì)量流量控制器的電磁閥是調(diào)治閥，不是截止閥，不能當(dāng)截止閥用，用戶應(yīng)另配截止閥。特別是用戶如果使用的是腐化性氣體，通常應(yīng)該在進(jìn)出氣口各加裝一個(gè)截止閥，以包管寧?kù)o。